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荷兰科技专家:中国当初囤积了大量来自于ASML的进口光刻机,为的就是与美国在芯片技术上面打持久战

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散英魂寄千万雄鹰翱翔神州,

尽智魄载十亿慧芯呼唤华夏。

——《国务院给予江上舟同志挽联》

01

前沿导读

半导体行业观察者、荷兰科技领域专业记者马克·海金克,在多年前就已经开始针对ASML以及全球的光刻机产业进行深度的跟踪报道。

他将ASML近40多年的技术发展进行了总结提炼,并且借助当下中美两国在芯片技术上面的激烈博弈,公开对芯片产业以及光刻机产品发表了权威看法。


02

未雨绸缪

荷兰的ASML,最开始只是飞利浦公司的一个分支部门,涉及半导体设备的研发。后来飞利浦公司将其独立出来,与ASM公司进行了合并,成立了ASML公司,专门负责光刻机产品的技术研发。

在ASML没有发展起来之前,国际光刻机的霸主是美国的GCA,日本尼康是GCA光刻机镜头的供应商。但是后来美国GCA打算发展全自研的光刻机设备,于是便将尼康从供应商的名单当中去除。

尼康意识到了问题的严重性,便通过日本的其他产业链公司购买了一台美国GCA研发的光刻机产品,通过逆向工程将光刻机设备的制造工艺推导出来,从而开发出了尼康自主的光刻机产品。


在后来的竞争当中,日本尼康的光刻机产品获得了市场的青睐,而美国的光刻机产品开始淡出市场。随着美国跟日本在半导体产业上面的竞争,日本尼康公司被美国视为眼中钉,想要将尼康打落神坛。

荷兰的ASML成为了美国大力看重的企业,并且在英特尔和美国政府的推动下,成立EUV LLC技术联盟,集合顶级的科研机构研发EUV光刻技术,ASML成为了技术联盟中最后一个环节的设备制造商。

在开发EUV光刻机的过程中,英特尔、台积电、三星等巨头芯片企业大量给ASML注资,这种既是客户又是股东的利益绑定,将ASML推到了一个其他企业无法企及的高度,其年度研发资金高达32亿欧元以上。


在EUV光刻机研发完成,并且投入市场使用之后,全球芯片产业迎来了快速发展阶段。与此同时,中国芯片企业对于光刻机的需求大量增加,而美国也开始了针对中国企业的制裁方案。

美国最开始对荷兰政府施压,禁止其允许ASML向中国出口EUV光刻机设备,而老旧的DUV设备不受影响。


在无法获得EUV光刻机的情况下,中国芯片企业开始大量采购ASML的DUV光刻机。

据海金克的深入调查表示,中国总共拥有800多台来自于ASML的进口光刻机产品。这些设备有一半掌握在中国芯片企业的手中,并且绝大部分都在中芯国际旗下的晶圆厂中。另外一半则是被三星、海力士、台积电的工厂所买走。

在全球芯片产业稳步发展的过程中,中国市场却开始源源不断的大量囤积进口光刻机,这引起了美国政府的高度警觉。

03

储备攻坚力量

据ASML前CEO彼得·温宁克表示,美国对ASML的出口限制,并不会影响其公司的正常运转,毕竟不能跟中国大陆市场做生意,不代表不可以跟其他地方做生意。

但是中国芯片企业有着其他企业没有的韧性和坚毅性,并且中国企业一定会先开始攻克老旧的DUV工艺设备,然后再发展先进的EUV技术设备。


ASML的首席技术官马丁·范登布林克,在2018年至2019年期间来到了中国,跟中国的芯片企业进行技术访问。

马丁也来到了中国唯一光刻机的制造商上海微电子公司进行访问,毕竟上海微电子公司与ASML是同行,马丁想要了解中国光刻机产业目前面临的困难,以及中国企业所掌握的技术方法。

虽然上海微电子的设备产品并不太吸引马丁,因为这些产品如果放在马丁的ASML公司,只能算是被淘汰的技术,但是马丁依然被中国企业清晰的发展思路、不断攻克难题的韧性所震撼。


马丁在后来的专访中表示,虽然上海微电子的设备被卡在了90nm技术上,但是中国企业在研究更好的技术,比如28nm的浸润式系统,只不过这种技术的研发难度较大,中国企业需要付出更多的努力。

但是美国的制裁可以算作一个决定性因素,既然阻止了中国企业采购进口光刻机,那么中国企业会选择使用上海微电子的设备,这给了上海微电子公司极大的市场支持,依靠这个支持力度,中国企业会不断优化自己的产品,从而顺理成章的突破曾经的技术瓶颈。


而那些曾经采购的进口光刻机,也被中国企业高效率的利用了起来。

2022年,中芯国际开始使用曾经从ASML进口的DUV光刻机设备制造等效7nm的芯片。

2023年,华为推出了采用中芯国际7nm技术制造的5G芯片手机。


2024年,在意识到了中国企业的意图之后,美国政府再次强制性的对荷兰政府以及ASML公司进行干预,拦截了所有ASML出口给中国市场的DUV光刻机订单,荷兰政府被迫撤销了几项ASML对华出口许可。

中国企业在自主设备和进口设备上面双线发展,并且均取得了不错的成绩。

资深半导体观察员马克·海金克,曾公开对中国芯片产业进行了评价:中国的科技发展常常以一种难以预测,但是却极具创造力的方式进行创新。

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